高純氣體氣瓶架-高純氣體處理設備高純氣體氣瓶架(GR),GR(Gas Rack)是為了滿足微電子半導體生產、科研要求而設計的氣體輸送中轉系統。GR一般由架子、閥門盤面、管件、控制器等集中在一起組成。
智能自動GR特氣氣瓶架是專為集中供氣而設計的供氣切換系統,基...
GR特氣架多應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備...
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