規格：
1、雙工藝氣瓶，半自動
2、特氣柜尺寸：W1100寬×D500深×H1800高
3、外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口
4、抽真空：GN2，1/4"MVCR接口
5、氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡套接口
6、VENT排空管：1/2MVCR接口
7、工藝氣體出口：2個，1/4"MVCR接口
8、盤面規格：1/4"盤面
9、標準配備：防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，遠程切斷，欠壓報警，主材SS316L
10、柜體換氣量:4"排氣口，1200次/小時
11、控制柜尺寸：W550寬×D230深×H320高
12、控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護
13、操作界面：PLC觸控屏人機界面
14、選配：工藝氣瓶重量監控器，工藝氣體超壓報警，盤面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話通知
適用范圍：
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
