特氣柜主要用于特種氣體的高純度安全穩定供應，如：輸送電子特氣參與泛半導體行業集成電路制造的核心工藝流程：摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環節。通常使用氣體的種類有高純氧氣、氮氣;
氬氣、氫氣、氦氣; 甲烷、乙炔、二氧化碳，還有混合氣體等實驗室有些設備還會用到有毒有害氣體。
特氣柜特點
1.特氣柜面板的厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）
2.特氣柜全表面都不能有震動，不可有鋒利的邊緣。
3.特氣柜的底板厚度大于等于3.4mm，必須鋪有防滑墊片，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。
4.特氣柜的底面設計要便于放置或移走鋼瓶而不必調整鋼瓶高度。如鋼瓶尺寸有變動，設備廠商無條件的更改鋼瓶CGA接頭高度。
5.特氣柜要可以容納兩個供氣鋼瓶。
6.特氣柜的門，管路線路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈。
7.特氣柜進氣口要安裝灰塵過濾器。
8.所有特氣柜標明其供應特殊氣體的種類及其濃度，特氣柜內部所有的管路及閥件應該標明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。
氣柜門構造：
1.氣柜門能自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。
2.氣柜門能打開90度角以上，以方便正常操作。
3.所有的氣柜門及窗子使用同樣的鑰匙。
4.氣柜門能平穩地打開及關閉，并具有防關閉功能，閉門器的聯接桿方便拆卸。
操作窗口：
1.操作窗口能自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。
2.操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。
3.窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。
特氣柜的排氣裝置：
1.特氣柜排氣管的直徑必須大于等于6”SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料。
2.排氣狀態的持
