特氣柜主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定供應，如：輸送電子特氣參與泛半導體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程：摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。通常使用氣體的種類有高純氧氣、氮氣; 氬氣、氫氣、氦氣; 甲烷、乙炔、二氧化碳，還有混合氣體等實驗室有些設備還會用到有毒有害氣體。
 
特氣柜特點

1.特氣柜面板的厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）
2.特氣柜全表面都不能有震動，不可有鋒利的邊緣。
3.特氣柜的底板厚度大于等于3.4mm，必須鋪有防滑墊片，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。
4.特氣柜的底面設計要便于放置或移走鋼瓶而不必調整鋼瓶高度。如鋼瓶尺寸有變動，設備廠商無條件的更改鋼瓶CGA接頭高度。
5.特氣柜要可以容納兩個供氣鋼瓶。
6.特氣柜的門，管路線路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈。
7.特氣柜進氣口要安裝灰塵過濾器。
8.所有特氣柜標明其供應特殊氣體的種類及其濃度，特氣柜內部所有的管路及閥件應該標明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。
氣柜門構造：
1.氣柜門能自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。
2.氣柜門能打開90度角以上，以方便正常操作。
3.所有的氣柜門及窗子使用同樣的鑰匙。
4.氣柜門能平穩(wěn)地打開及關閉，并具有防關閉功能，閉門器的聯接桿方便拆卸。
操作窗口：
1.操作窗口能自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。
2.操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。
3.窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。
特氣柜的排氣裝置：
1.特氣柜排氣管的直徑必須大于等于6”SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料。
2.排氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號要顯示在控制屏上并與控制器聯動，以提供抽風量不足時的停機或報警選項。
3.排氣管上加裝特種氣體偵測器。
特氣柜管道安裝
1.盤面的排氣管必須保持微量N2微漏通過，監(jiān)控其背壓來偵測排氣管是否堵塞。
2.更換鋼瓶時，Pigtail必須保持小流量的PN2吹出。
3.盤面所用的部件必須與所供特種氣體相適應，所有的閥件必須可以開關100000次以上。（并提供給甲方閥件的相關證明）
4.氣路設計的最大承受壓力3000Psi，最高溫度250℃。
5.氣路系統構造要符合ASTM標準。
6.調壓閥要安裝在便于調節(jié)壓力及維護的位置。且各種電子傳感器禁止安裝在調壓閥下端。
7.必須使用標準結構的部件，以減少死角。且所有的彎頭、接頭都必須使用標準配件。材料全部選用SUS316L—EP材質。
8.特氣柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測器。
9.特氣柜要裝有作動點為68℃的噴水頭，還要裝有溫度傳感器并與盤面控制器聯動。
特氣柜功能要求：（包含特氣柜（GC）/BSGS，基本功能要求）系統報警
1.排風風壓負壓報警功能。
2.Z-purge報警功能。
3.過流量報警聯動功能。
4.氣柜各種壓力報警聯動閥門自動開關、供氣路線自動切換。
5.特氣柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測器報警功能。
6.所有安全裝置及與控制器的觸摸屏必須有失效互鎖保護型。
7.信號燈的警報信號根據不同的顏色分為三種：紅色是警報，黃色是故障，綠色是正常運行。亮度要求為在5米距離范圍內能夠看清楚信號燈光。
特氣供應系統控制器
1.控制屏幕，必須是鑲嵌在現有的面板上的、有顯示特氣系統的吹掃狀態(tài)及P&ID、彩色的觸摸屏。
2.氣路系統可以設定自動或手動操作模式。
3.所有的報警裝置應該安裝在顯而易見的地方并伴有警報聲，報警聲經確認后靜音，屏幕的報警信息要求報警完全消除后才能消除，所有的操作記錄必須要保存半年以上。
4.控制器要裝有一個EMO按鈕用來關閉供氣氣動閥使系統完全停止供氣。
5.控制器有密碼保護并且可以在安全連鎖條件下自動控制氣動。
6.控制器PLC應該與GMS系統PLC直接通訊，不可以通過觸摸屏的CPU和外界通訊。
7.控制器可以與GMS通訊，并且可以遠程關閉。
8.設備廠商要就設備的自動操作及手動操作提供詳細說明，共同討論通過，當有不合理的操作的時候，軟件能夠自鎖并等待確認。
9.控制器必須能夠檢測到組件故障，并時常完成自動檢查和校正。
10.控制器必須能夠設定和監(jiān)控選定的警報項目。
11.控制器必須有旁路或自動的互鎖程序。
12.控制器必須有自動及手動操作功能。
13.控制器必須能夠接受外部互鎖信號。互鎖類型必須要通過和甲方業(yè)主協商而且控制器必須有4個干接點供外部操作使用。
14.控制器程序控制器必須具有上傳和下載的功能，以便對程序作故障分析和更新的動作。
15.至少要有兩級密碼設置，如操作界面密碼和參數修改密碼。