智能半自動特氣VMB閥門箱
特氣VMB閥門箱(Valve Manifold Box)，是一種內(nèi)嵌多支路，實(shí)現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。
VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點(diǎn)應(yīng)用。對于每個使用點(diǎn)，壓力可被單獨(dú)地調(diào)控，從而可同時滿足不同應(yīng)用的需求。
它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無危險(xiǎn)氣體泄漏的情況下安全地維護(hù)VMB的每一部份。
除此以外，設(shè)備運(yùn)行過程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下，吹掃某一支路或?qū)ζ溥M(jìn)行真空抽氣。
VMB通過采用安裝的壓力表、手動閥等裝置，具有成本低的優(yōu)勢，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
適用氣體：
易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè)：
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校實(shí)驗(yàn)室等。
產(chǎn)品特性
主材全部采用 SUS316無縫不銹鋼管。
主體閥門管件全部來自 APtech,Parker, Potarex 等國際一線品牌。
標(biāo)準(zhǔn)配置
帶PLC控制系統(tǒng)，觸控屏人機(jī)界面
帶外吹掃、帶抽真空，自動緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警，泄漏報(bào)警對接，通風(fēng)出口等;
符合國際安全規(guī)范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關(guān)閉門、抽風(fēng)外殼;
尾氣排放功能;
防爆外柜，烤漆或不銹鋼外殼包覆;
每個箱配置：進(jìn)出均須帶手動隔膜閥、氣動隔膜閥、壓力表，壓力傳感器、減壓閥，單向閥，過濾器、安全閥等
具備一個預(yù)留擴(kuò)充點(diǎn);
氣體分配柜的負(fù)壓應(yīng)持續(xù)監(jiān)控。
緊急切斷功能,風(fēng)壓事故報(bào)警功能等
為保證安全，所有閥門管件須使用優(yōu)質(zhì)的國際知名品牌。
